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    化學束磊晶成長氮化銦薄膜與特性分析研究
    • 材料科學與工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 葉俊樑 指導教授: 周賢鎧 陳貴賢 林麗瓊
    • 本研究已成長高品質氮化銦(InN)薄膜在氮化鎵(001)的基板上,利用高解離性的氮源(HN3)來當化學束磊晶技術來成長薄膜。成長薄膜特性分析儀器使用:高解析度場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、高…
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    適合作為原子層磊晶氮化鎵的鎵源先驅物之研究
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 王晨宇 指導教授: 洪儒生
    • 本論文的主題分為四部分:(1)利用三甲基鎵(trimethylgallium,TMG)/氨氣(NH3)為反應先驅物以原子層磊晶法(ALE)合成氮化鎵(GaN)並對其成長行為做一整體性探討;(2)探討…
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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